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洁净工作棚设计概念及结构

日期:2025-05-02 20:45
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摘要:
洁净工作棚设计概念及结构
面对现今半导体工业竞争越来越激烈的情况下,其洁净厂房内洁净度的维持与生产率的提升,是IC制造产业不可缺少的一个环节。新的洁净室设计观念,迷你洁净环境单元( 洁净工作棚 ),采取模组化之整合设计概念,有独立的特制FFU机组(HEPA)。此形式优点在于(弹性隔间容易、构造成本低),使人与设备、产品有效隔离,如此做法可使人为的干忧及污染降低到*低程度,并直接可提高产品质量度。
洁净工作棚结构:
材料以钢方通喷塑作为框架,采用风机滤网机组FFU送风,四周围用防静电垂帘,顶部铺盖密缝盲板,形成一个密缝区,内部净化级别可达10---100000级;特别适用于车间内局部净化级别要求高的区域,如流水线作业区域。高**度产品组装区。
洁净工作棚 特点:
组装式结构设计,安装方便,大大缩短了交货周期;
移动方便;适用于建造小面积的洁净区域。
模块化结构,提高净化级别容易,扩展性强,且重复利用价值高;

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