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洁净室、无尘室标准

日期:2020-08-06 01:00
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摘要:

■ 美国联邦标准(USA FederalStandard)209E(1992年)

 

洁净度级别

   

0.1µm

0.2µm

0.3µm

0.5µm

5.0µm

1

35.0

7.50

3.00

1.00

NA

10

350

75.0

30.0

10.0

NA

100

NA

750

300

100

NA

1000

NA

NA

NA

1000

7.0

10000

NA

NA

NA

10000

70.3

100000

NA

NA

NA

100000

700





■ 洁净室及洁净区空气洁净等级〔ISO14644-1]

ISO分级序数(N)

大于或等于表中粒径的*大浓度限值(颗/空气)

0.1µm

0.2µm

0.3µm

0.5µm

1µm

5µm

ISO Class1

10

2

 

 

 

 

ISO Class2

100

24

10

4

 

 

ISO Class3

1000

237

102

35

8

 

ISO Class4

10000

2370

1020

352

83

 

ISO Class5

100000

23700

10200

3520

832

29

ISO Class6

1000000

237000

102000

35200

8320

293

ISO Class7

 

 

 

352000

83200

2930

ISO Class8

 

 

 

3520000

832000

29300

ISO Class9

 

 

 

35200000

8320000

293000

■ 基于≥0.5um粒径的各国洁净度等级近似对照表

 

/M3≥0.5µm

ISO
14644-1(1999)

US
209E(1992)

US
209D(1988)

EEC
GGMP(1989)

FRANCE
AFNOR(1981)

GERMANY
VDI2083(1990)

JAPAN
JAOA(1989)

1

-

-

-

-

-

-

-

3.5

2

-

-

-

-

0

2

10.0

-

M1

-

-

-

-

-

35.3

3

M1.5

1

-

-

1

3

100

-

M2

-

-

-

-

-

353

4

M2.5

10

-

-

2

4

1,000

-

M3

-

-

-

-

-

3,530

5

M3.5

100

A+B

4,000

3

5

10,000

-

M4

-

-

-

-

-

35,300

6

M4.5

1,000

1,000

-

4

6

100,000

-

M5

-

-

-

-

-

353,000

7

M5.5

10,000

C

400,000

5

7

1,000,000

-

M6

-

-

-

-

-

3,530,000

8

M6.5

100,000

D

4,000,000

6

8

10,000,000

-

M7

-

-

-

-

-