洁净厂房设计规范

GBJ73—84 
主编部门:中华人民共和国电子工业部

批准部门:中华人民共和国国家计划委员会

施行日期:198561

  
第一章  

第二章 空气洁净度等级

第三章 总体设计

第一节 洁净厂房位置选择和总平面布置

第二节 工艺布置和设计综合协调

第三节 噪声控制

第四节 微振控制

第四章  

第一节 一般规定

第二节 人员净化和物料净化设施

第三节 防火和疏散

第四节 室内装修

第五节 装配式洁净室

第五章 空气净化

第一节 一般规定

第二节 洁净室正压控制

第三节 气流组织和送风量

第四节 空气净化处理

第五节 采暖通风

第六节 风管和附件

第六章 给水排水

第一节 一般规定

第二节  

第三节  

第四节 消防设施

第七章 工业气体管道

第一节 一般规定

第二节 管道材料、阀门和附件

第三节 管道连接和清洗

第四节 安全技术

第八章  

第一节  

第二节  

第三节 控制、通信和防护

附录一 名词解释

附录二 洁净室空气洁净度的测试

附录三 洁净厂房生产的火灾危险性分类举例

附录四 净化空气调节系统设计对施工的要求

附录五 净化空气调节系统设计对维护管理的要求

附录六 净化空气调节系统风管壁厚

附录七 本规范用词说明 

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